64.2 高真空控制閘閥

適用于高循環(huán)真空控制和隔離

可靠精確地控制標(biāo)準(zhǔn)真空工藝

64.2 高真空控制閘閥設(shè)計(jì)用于在濺射或蝕刻工藝等高循環(huán)真空工藝中進(jìn)行可靠精確的控制和隔離。該系列滿足耐用性、模塊性和可維護(hù)性的標(biāo)準(zhǔn)要求，并且特別注重長(zhǎng)正常運(yùn)行時(shí)間和低購(gòu)置成本。

64.2 高真空控制閘閥采用 VATLOCK 技術(shù)，可提供可靠的密封，同時(shí)不會(huì)在閥板密封處產(chǎn)生任何摩擦。閥板可充當(dāng)節(jié)流元件，改變閥門開度的流導(dǎo)特性。設(shè)備上壓力控制器可計(jì)算所需的閥板位置以達(dá)到規(guī)定的設(shè)定點(diǎn)壓力。步進(jìn)電機(jī)進(jìn)行驅(qū)動(dòng)，同時(shí)編碼器監(jiān)控閥板位置。這樣可確?？焖贉?zhǔn)確地控制過程壓力。位于關(guān)閉位置的專用 VATLOCK 鎖定機(jī)制能夠確保在斷電的情況下，將密封隔離與故障保護(hù)關(guān)閉相結(jié)合。

64.2 高真空閘閥已經(jīng)安裝在數(shù)千個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中，證明了其可靠性。憑借自身堅(jiān)固的設(shè)計(jì)，64.2 高真空控制閘閥滿足高循環(huán)真空控制閘閥的所有要求。

為確保實(shí)現(xiàn)與各種真空應(yīng)用的最佳集  成，64.2 高真空控制閥提供不同的設(shè)計(jì)變體，包括有不同選擇的密封材料、法蘭連接、粗抽（旁路）連接、排氣或計(jì)量表以及特殊控制算法（自適應(yīng)、固定 PI 下游/軟抽）。

如果需要在有限的安裝空間內(nèi)安裝 64.2 高真空控制閘閥，則可將驅(qū)動(dòng)器和控制器安裝在閥體的不同位置。此外，控制器可與閥門驅(qū)動(dòng)器分開安裝。

該系列的尺寸為 DN 100 - 400 mm (4" - 16")。

64.2 高真空控制閘閥主要特點(diǎn)

特點(diǎn):

設(shè)計(jì)可靠、成熟

VATLOCK 技術(shù)

堅(jiān)固的不銹鋼閥體

高循環(huán)設(shè)

優(yōu)勢(shì):

可靠精確的控制和隔離性能

免維護(hù)周期延長(zhǎng)

購(gòu)置成本低

技術(shù)數(shù)據(jù)

尺寸  DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"),

DN 320 (12"), DN 350 (14"), DN 400 (16")

驅(qū)動(dòng)器  帶有步進(jìn)電機(jī)的集成壓力控制器

閥體材料  不銹鋼

饋通件  旋轉(zhuǎn)饋通件

標(biāo)準(zhǔn)法蘭  ISO-F, CF-F, ASA-LP/ASA, JIS

泄漏率閥體、閥座 < 1 × 10-9 mbar ls-1

壓力范圍DN 100 – 200

DN 250 – 400 1 × 10-8 mbar to 2 bar (abs)

1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (abs)

閥板可承受壓差（閥門關(guān)閉）DN 100 – 200

DN 250 – 400 ≤ 2 bar

≤ 1.2 bar

打開時(shí)可承受壓差  ≤ 30 mbar

維護(hù)前開關(guān)次數(shù)壓力控制關(guān)閉/打開 100 萬次20 萬次

溫度閥體控制器 ≤ 150°C最大 50℃（建議 ≤35℃）

材料閥體、閥門 AISI 304 (1.4301)

機(jī)構(gòu) AISI 301 (1.4310), AISI 304 (1.4301),

AISI 420 (1.4034), AISI 420D (1.4037),

AISI 430 (1.4016)

密封閥蓋、閥板、饋通件 氟橡膠

安裝位置DN 100 – 350

DN 400 任何位置 水平位置

閥門位置指示  視覺（機(jī)械和控制器）

vatvalve高真空控制閘閥半導(dǎo)體專用64240-UEAG

vatvalve高真空控制閘閥半導(dǎo)體專用64240-UEAG

64.2DN 100 - 400

高真空控制閘閥

商品編號(hào) 64240-UEAG

尺寸： DN 100 (4")

材質(zhì)： 不銹鋼

驅(qū)動(dòng)器： 步進(jìn)電機(jī)

位置指示信號(hào)： 沒有

電磁閥： 沒有

法蘭： CF-F (UNF螺紋)

控制器： SPS

接口： RS232接口/1個(gè)感應(yīng)器

64.2DN 100 - 400

高真空控制閘閥

商品編號(hào) 64244-CEGG

尺寸： DN 160 (6")

材質(zhì)： 不銹鋼

驅(qū)動(dòng)器： 步進(jìn)電機(jī)

位置指示信號(hào)： 沒有

電磁閥： 沒有

法蘭： CF-F (公制螺紋)

控制器： 基本版本/集群從屬

接口： RS232接口/1個(gè)感應(yīng)器

64.2DN 100 - 400

高真空控制閘閥

商品編號(hào) 64244-CEHG

尺寸： DN 160 (6")

材質(zhì)： 不銹鋼

驅(qū)動(dòng)器： 步進(jìn)電機(jī)

位置指示信號(hào)： 沒有

電磁閥： 沒有

法蘭： CF-F (公制螺紋)

控制器： PFO

接口： RS232接口/1個(gè)感應(yīng)器

64.2DN 100 - 400

高真空控制閘閥

商品編號(hào) 64244-JECP

尺寸： DN 160 (6")

材質(zhì)： 不銹鋼

驅(qū)動(dòng)器： 步進(jìn)電機(jī)

位置指示信號(hào)： 沒有

電磁閥： 沒有

法蘭： JIS

控制器： SPS和PFO

接口： 設(shè)備網(wǎng)/1個(gè)感應(yīng)器