65.3 控壓擺閥

可優化半導體與顯示器系統中的下游壓力控制和隔離

最大限度地提高生產率

65.3 控壓擺閥設定了下游壓力控制和隔離的新標準。該系列控壓擺閥專為半導體和顯示器生產系統而設計，可在較寬的流導范圍內提供可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機，可提供改進功能。

驅動器控制器具有更高的 32 位數據處理能力，可提供全新可控性。這意味著可以非常快速、精細和準確地控制鐘擺閥板的各個位置，從而在極短的響應時間內實現非常精確的下游壓力控制。閥門的預設運動序列可根據各種不斷變化的工藝參數，對速度和路線進行調整。65.3 控壓擺閥還可防止粒子釋放。閥板經過優化的阻尼關閉運動可避免傳統閥門常見的沖擊和振動。65.3 控壓擺閥的閉合順暢無礙，幾乎察覺不到關閉和打開。閥板提供非常精確的機械引導，可確保往復運動中的無接觸氣流控制，并在密封運動的所有區域內實現均勻的密封。

65.3 控壓擺閥已經安裝在數百個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中，證明了其可靠性和性能。65.3控壓擺閥還是改造現有系統的理想之選。

65.3 控壓擺閥的尺寸為 DN 100-350 mm (4" - 14")，采用鋁或硬質陽極氧化鋁制成，帶有 ISO-F 和 JIS 標準法蘭連接。可集成定制法蘭，也可作為直接安裝選項。標準密封材料為氟橡膠，并且可根據要求使用其他材料。

控制器可采用特殊控制算法（自適應、固定 PID、上游、軟抽）。控制器上的各種標準端  口可通過個人計算機或連接到過程控制單 元 (PCU) 輕松訪問。專用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件可輕松校準 65.3 控壓擺閥并簡化維護計劃

65.3 控壓擺閥 主要特點

特點:

快速精確的壓力控制

無沖擊操作：無粒子生成

提高工藝穩定性：可控制所有流量和壓力

帶有控制性能分析儀 (CPA) 的 32 位集成壓力調節器 (IC2)

“即插即用"改造：無需校準或匹配

優勢:

可靠性、精度和速度

維護周期延長

運行成本低

技術數據

尺寸  DN 100 (4"), DN 160 (6"), DN 200 (8"),

DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14") 

驅動器  帶集成壓力控制器的步進電機 

閥體材料  鋁：鋁或硬質陽極氧化鋁 

饋通件驅動器密封圈 旋轉饋通件軸饋通件 

標準法蘭  ISO-F, JIS 

泄漏率閥體鋁硬質陽極氧化鋁 < 1 × 10-9 mbar ls-1

< 1 × 10-5 mbar ls-1 

泄漏率閥座鋁硬質陽極氧化鋁 < 1 × 10-9 mbar ls-1

< 1 × 10-4 mbar ls-1 

壓力范圍鋁硬質陽極氧化鋁 1 × 10-8 mbar to 1.2 bar (絕對壓強)

1 × 10-6 mbar to 1.2 bar (絕對壓強) 

維護前開關次數壓力控制關閉/打開 100 萬次20 萬次 

溫度閥體 ≤ 120 °C  

 控制器 最大 50℃（建議 ≤35℃） 

材料閥體、閥板 EN AW-6061 (3.3211) 

 密封圈 EN AW-6061 (3.3211), AISI 305 (1.4303),

AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568) 

 其他部件 AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122),

AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301) 

密封閥蓋、閥板、閥體饋通件 氟橡膠（含氟彈性體） 

安裝位置  任何位置 

vatvalve半導體65.3 控壓擺閥65340-JAAH

vatvalve半導體65.3 控壓擺閥65340-JAAH

65.31 × 10-8mbar 至 1 bar (abs)

控壓擺閥

商品編號 65340-JAAE

尺寸： DN 100 (4")

材質： 鋁

驅動器： 步進電機

位置指示信號： 沒有

電磁閥： 沒有

法蘭： JIS

控制器： SPS

接口： 邏輯（A/D）/2個感應器

65.31 × 10-8mbar 至 1 bar (abs)

控壓擺閥

商品編號 65340-JAAF

尺寸： DN 100 (4")

材質： 鋁

驅動器： 步進電機

位置指示信號： 沒有

電磁閥： 沒有

法蘭： JIS

控制器： SPS

接口： Profibus /2個感應器

65.31 × 10-8mbar 至 1 bar (abs)

控壓擺閥

商品編號 65340-JAAH

尺寸： DN 100 (4")

材質： 鋁

驅動器： 步進電機

位置指示信號： 沒有

電磁閥： 沒有

法蘭： JIS

控制器： SPS

接口： RS232接口/2個感應器

65.31 × 10-8mbar 至 1 bar (abs)

控壓擺閥

商品編號 65340-JAAK

尺寸： DN 100 (4")

材質： 鋁

驅動器： 步進電機

位置指示信號： 沒有

電磁閥： 沒有

法蘭： JIS

控制器： SPS

接口： RS485/2個感應器